日立パワーデバイス特約店 ユニオンイーエス
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MEMSファンドリーサービスのご案内  

ご案内

MEMS製品の開発にかかわるユーザーには多くの解決すべき問題が発生しております。 マイクロ/ナノ製造設備(インフラ)が高価であること、設備が確保できても半導体知識を備えた人材の確保が難しいこと、あるいはデザイン・ノウハウ等の知的財産の共有化が困難であること等があげられます。
半導体の設計・製造技術を踏まえユーザーの皆様のMEMS製品開発の支援を推進して参りました。
私たちのMEMSファンドリーは、手軽な研究・試作のお手伝いはもちろん、量産段階での生産受託まで対応させて頂きます。

特徴

(1) 本格的な半導体量産ライン(24時間稼働)との協力体制が確立されている
(2) MEMSになじみのよいパワーデバイスラインである
(3) 試作、開発から量産までの対応が可能である
(4) Si-Deep RIE(ICP)設備を有している

内容

(1) 4、5、6インチに対応したMEMS製品の開発
(2) クラス10~100のクリーンルーム
(3) マスク設計からパッケージ設計の支援
(4) SOIウェハの内製による短納期対応
(5) 電子回路作成の支援(バイポーラ、MOS)

ICPドライエッチャ

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→カスタムプロセスサービス

→主要提供プロセス一覧

更新日:2017/06/29 株式会社 ユニオンエレクトロニクスソリューション
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